主题:基于多能高分子的肿瘤主动递药
报告人:季生象,研究员,中国科学院长春应用化学研究所/张江实验室
时间:2024年6月7日(周五)14:30
地点:霞光楼220
邀请人:邱惠斌 教授
个人简介
季生象,中国科学院长春应用化学研究所/张江实验室,研究员,博士生导师。1998年/2001年/2006年分别在中国海洋大学/中国科学院化学研究所/美国明尼苏达大学化学系获得学士/硕士/博士学位。2006年9月加入美国威斯康星大学化工系做博士后研究,2009年1月起任助理科学家。2011年3年加入中科院长春应化所,任研究员和博士生导师,获中国科学院“百人计划”(A类)支持。2024年1月加入张江实验室,任研究员和博士生导师。研究方向包括半导体光刻材料、聚氨基酸抗菌材料和气相净化材料等;发表60余篇论文,获授权20余项专利。
报告摘要
嵌段共聚物引导自组装(DSA)是潜在制备5nm或者更小尺寸节点芯片的备选技术之一。我们课题组一直致力于将DSA整合到半单体光刻工艺流程中,开发与DSA工艺兼容的嵌段共聚物,通过193浸没式光刻与嵌段共聚物DSA结合(193i+DSA)解决极紫外光机卡脖子问题,实现亚-10nm图案的制备,用于逻辑和存储芯片的制造。本报告将汇报近年来我们课题组在三嵌段共聚物、高值嵌段共聚物以及化学图案模版制备新方法等方向所取得的进展。