上海交通大学 化学化工学院测试中心【仪器设备信息卡】

中文名称

场发射扫描电子显微镜

英文名称

Field Emission Scanning Electron Microscope

型号

Nova NanoSEM 450

生产商

FEI Company, USA

技术规格

电子枪:新一代肖特基场发射电子枪
加速电压:200V-30kV,连续可调
着陆电压:50V到30kV,连续可调
放大倍率:10~1,000,000;电子束流:0.6pA~200nA
分辨率(高真空):1.0 nm @ 15 kV, 1.4 nm @ 1 kV
分辨率(低真空):1.8 nm @ 3 kV,1.5 nm@ 10 kV
成像模式:二次电子像、背散射电子像以及两者混合信号图像;样品台:5轴马达控制,X=Y=110mm,Z=25mm,倾斜+75度到-15度;最大样品尺寸:φ150mm,无限制旋转,分析工作距离5mm
能谱仪:电制冷硅漂移探测器(SDD),传感器10mm2,可分析元素Be4~U92

附件

无油真空系统;样品室红外CCD;等离子清洗;能谱仪(Edax Apollo XP) 

主要用途

能进行高电压、低电压低真空超高分辨率成像的系统,用于导电和不导电样品的的形貌观察。能在两种真空模式自由切换,高真空(典型10-5mbar)模式进行导电或传统方法制备的样品的成像和分析,低真空模式(小于200Pa)进行不导电样品的成像和分析,不需要进行样品制备或喷镀。

【返回仪器设备目录页】