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【30th.Oct.】自嵌段共聚物在化学图案上的引导自组装

2017-10-27

 

题目:自嵌段共聚物在化学图案上的引导自组装
报告人:季生象,中国科学院长春应用化学研究所 “百人计划”研究员
时间: 2017年10月30号下午2:00
位置: 化学楼A楼518会议室
邀请人:周永丰教授


嵌段共聚物引导自组装是潜在制备5nm或者更小尺寸节点的技术之一,也是自组装研究未来非常有前途的应用出口。季生象课题组是国际上少数几个从事相关领域研究的特色研究组,主要致力于将引导自组装工艺整合到半单体行业的光刻工艺流程中,并已经取得了重要突破。

 



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